|
|
|
|
|
|
IZ系列溅射离子泵
|
|
|
欧瑞康莱宝最新推出IZ系列溅射离子泵:
主要有以下特点: 选件:泵-IPC电缆
极限真空高 <1×10-12mbar 电缆 5米 225020 IPC定货号: 225000
无碳氢化合物污染 电缆 10米 225021
无振动 电缆 15米 225022 高真空连接 225019
抽速30l/s到400l/s 电缆 20米 225023
技术参数 |
单位 |
IZ 30 |
IZ 50 |
IZ 100 |
IZ 200 |
IZ 400 |
高真空连接 |
DN |
40 CF |
63 CF |
100 CF |
160 CF |
160 CF |
10-9 mbar N2的抽速 |
I/s |
30 |
45 |
100 |
200 |
400 |
10-9 mbar Ar的抽速 |
I/s |
– |
– |
48 |
105 |
190 |
转速 |
rpm |
36000 |
24000 |
36000 |
36000 |
36000 |
推荐启动压力 |
mbar |
< 8.0x10-5 |
< 8.0x10-5 |
< 5.0x10-5 |
< 3.8x10-5 |
< 3.0x10-5 |
极限真空度 |
mbar |
< 10-11 |
< 10-11 |
< 10-11 |
< 10-11 |
< 10-11 |
系统加热电压 |
VAC |
– |
220 - 240 |
220 - 240 |
220 - 240 |
220 - 240 |
系统加热功率 |
W |
– |
300 |
320 |
600 |
800 |
内置加热器温度 |
°C |
– |
250 |
250 |
250 |
250 |
内置加热器最大排气温度 |
°C |
350 |
350 |
350 |
350 |
350 |
工作电压 |
kV |
+7.5 |
+7.5 |
+7.5 |
+7.5 |
+7.5 |
环境允许温度 |
°C |
0 bis +40 |
0 bis +40 |
0 bis +40 |
0 bis +40 |
0 bis +40 |
环境允许湿度 |
% |
< 85 |
< 85 |
< 85 |
< 85 |
< 85 |
外形尺寸(W x D x H) |
mm |
183x103x187 |
209x163x241 |
336x155x340 |
361x296x376 |
544x96x376 |
重量(包括加热系统) |
kg |
9.5 |
12 |
37 |
65 |
124 |
定货号 |
|
225005 |
225004 |
225003 |
225002 |
225001 |
控制单元 |
|
IPC |
IPC |
IPC |
IPC |
IPC | | | | |
|
|
|
|
|
|
|
|
|